| 材料 | SS 304 |
|---|---|
| 設計臨時雇用者 | 1000c |
| ガスのフロー制御の精密 | 1%SP |
| 液体の流れセットの精密 | 1.5%FS |
| 圧力制御の精密 | 0.02MPa |
| 材料 | SS 304 |
|---|---|
| 設計臨時雇用者 | 1000c |
| ガスのフロー制御の精密 | 1%SP |
| 液体の流れセットの精密 | 1.5%FS |
| 圧力制御の精密 | 0.02MPa |
| 材料 | SS 304 |
|---|---|
| 設計臨時雇用者 | 1000c |
| ガスのフロー制御の精密 | 1%SP |
| 液体の流れセットの精密 | 1.5%FS |
| 圧力制御の精密 | 0.02MPa |
| 材料 | SS304 |
|---|---|
| 搬送ガス | 彼、ArのN2、H2 |
| 搬送ガス純度 | >99.995% |
| 探知器 | マイクロTCDの探知器 |
| 制御方法 | ソフトウェア自動制御 |
| 材料 | SS 304 |
|---|---|
| 設計臨時雇用者 | 1000c |
| ガスのフロー制御の精密 | 1%SP |
| 液体の流れセットの精密 | 1.5%FS |
| 圧力制御の精密 | 0.02MPa |
| 材料 | SS 304 |
|---|---|
| 設計臨時雇用者 | 1000c |
| ガスのフロー制御の精密 | 1%SP |
| 液体の流れセットの精密 | 1.5%FS |
| 圧力制御の精密 | 0.02MPa |
| 材料 | SS 304 |
|---|---|
| 設計臨時雇用者 | 1000c |
| ガスのフロー制御の精密 | 1%SP |
| 液体の流れセットの精密 | 1.5%FS |
| 圧力制御の精密 | 0.02MPa |
